陡着科学技术的飞速发展，出现了许多微现分析仪器，如扫 推电子显微镜、电子探针、俄歇电子能谱仪、电子元器件二次元三次元影像测绘仪等等。这些仪器的出 现为我们认识失效机理、揭示有关失效的佶怠起了重要作用，是 失效分析的有力工具。但是应避免由此而忽视使用普通的分析仪 器做较为宏观的分析，似乎没有扫描电镜和俄歇谱仪就不是失效 分析。事实上，分析工作应由宏观到微观、由整体到局部。例如 断口分析，首先需要从宏观上确定出断裂的源区，然后才能从微 现上进一步确定断裂的性质。因此，用眼睛、放大镜和立体显微 镜来观察和分析是非常獻要的步骤，它可以提供丰宫的信息。 测ft失效电子元件的电特性也是不可忽略的步骤。

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